C10988MA – это миниатюрная (27,6 х 13 х 16,8 мм) спектрометрическая головка, разработанная благодаря объединению технологий HAMAMATSU MEMS (микро-электромеханические системы) и датчиков изображения.

Помимо КМОП-датчика изображения с интегрированной оптической щелью, изготовленной травлением, в C10988MA встроена дифракционная решётка, выполненная на выпуклой линзе с помощью нанопечати. Поскольку и датчики изображения и оптические системы изготавливаются непосредственно у HAMAMATSU, благодаря свободе дизайна удалось создать продукт, отвечающий современным требованиям рынка.

MEMS представляет сейчас пристальный интерес передовая полупроводниковая технология. HAMAMATSU совместили MEMS-технологию и оптическую технологию, создав принципиально новую технологию MOEMS, по которой выпускаются сложные и разнообразные устройства, которые компактнее и дешевле, чем когда-либо ранее.

Для создания в КМОП-датчике, изготавливаемом на собственном предприятии Hamamatsu, щели размерами 75х750 мкм используется глубокое травление. Эти устройства отличаются высокой точностью позиционирования, поскольку для создания щели используются те же фотошаблоны, что и для создания самого датчика.

Технология нанооттиска используется для изготовления копии дифракционной решётки, которая переносит структуру дифракционной решётки на стекло. На поверхность выпуклой линзы наносится копирующий пластик, на котором путём прижима исходной дифракционной решётки с одновременным облучением ультрафиолетом формируется структура дифракционной решётки.